金融界 2024 年 8 月 20 日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，睿励科学仪器（上海）有限公司请求一项名为“一种定位补偿方法、体系及设备“，公开号 CN7.8，请求日期为 2024 年 4 月。

  专利摘要显现，本请求归于半导体制作技术领域，供给一种定位补偿方法，经过极坐标运动渠道调整猜测样品的方位，使猜测样品的凹槽符号与极坐标系极轴重合，依据极轴和极坐标系运动渠道构成榜首坐标系，获取猜测样品的第二坐标系并核算得到两者间的坐标转化矩阵，依据坐标转化矩阵核算得到猜测样品方针点 M 的榜首坐标信息，依据榜首坐标信息调整猜测样品方位使方针点 M 移动至差错点 M1 处，获取差错点 M1 的差错坐标信息，依据差错坐标信息核算得到方针点 M 的第二坐标信息，依据第二坐标信息对方针点 M 做定位补偿，消除了极坐标运动渠道的定位差错，本请求还供给一种定位补偿体系及设备，选用上述定位补偿方法来进行极坐标运动渠道的定位补偿。

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